반도체 클린룸에서의 에너지절약 대책

반도체 클린룸에서의 에너지절약 대책

저자 양성철

학술지정보 공기청정기술 KCI 
발행정보 한국공기청정협회 2005년 피인용횟수3자료제공처국회도서관 KISTI 
주제분야 공학 >  환경공학

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<목차>
반도체 클린룸에서의 에너지절약 대책 / 양성철 1
1. 머리말 1
2. 클린룸에서의 에너지 사용특성 2
2.1. 송풍동력 2
2.2. 외기처리 2
2.3. 실내부하 2
3. 클린룸 에너지 벤치마킹 사례 3
4. 클린룸에서의 에너지절약 방법 6
4.1. 클린룸시스템 7
4.2. 배기량의 저감, 재이용 10
4.3. 열회수 시스템 11
4.4. 열부하의 절감 14
4.5. 반송동력의 저감 14
4.6. 비가동, 저부하시 절약운전 16
4.7. 운송저항 절감 17
4.8. 효율증대 17
4.9. 제어시스템의 개선 18
5. 맺음말 18
참고문헌 19

녹색건축인증 조성법' 및 '건물에너지 소비증명제'가 의무화되어 시행되고 있습니다.   저희 (주)녹색건축인증연구소는 '지속가능한 저탄소 녹색건축인증 기술연구소'의 전문기업으로 설립되어, 빠른 제도 변화와 변모하는 건설환경에 이바지하고자 합니다. (주)녹색건축인증연구소는 건축, 도시, 생태분야가 녹색건축물에 접목될 수 있도록 적절한 요소분석을 통해 에너지 절감형 건축, 자생적 생태환경, 온열환경, 빛환경의 면밀한 조사와 연구로 고객의 삶의 질 향상 및 더 나아가 인류의 존속성에 그 목적을 두고 있습니다.